混合设置:在一些项目中,福建洁净室,大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房,又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置,以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点,更经济、更灵活,满足了产品生产的要求。
近年来,在---集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元(ffu)送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,循环空气机组分散设置。
8、主机冷量比末端冷量小15%-30%。9、冷冻机房分、集水缸取消,采用梁下敷设方式,洁净室设计,管道采用母管制分合水,阀门采用电动蝶阀,可以减少系统阻力,少占面积,方便操作。
各类产品生产用洁净室要求的空气洁净度等级是决定洁净生产区平面布置的主要因素。在进行综合性厂房的平面布局时,一般应将洁净室(区)与一般生产环境的房间分区集中布置,以有利于、物流的安排和防止污染和交又污染,也有利于净化空调系统及其管线的布置和减少建筑面积等。
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