混合设置：在一些项目中，大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房，洁净室销售，又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置，以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点，更经济、更灵活，满足了产品生产的要求。
近年来，在---集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元（ffu）送风方式，洁净室工程，各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式，洁净室设备安装，即新风处理机集中设置，龙岩洁净室，循环空气机组分散设置。
新风量的确定洁净室内的新风补充量主要有三方面因素：补充系统内排风所需的新风量lp；(m3/h)维持系统静压差所需的新风量lz(m3/h)---室内人员的新风需要lxr<洁净厂房设计规范>中要求：室内人员新风量不小于40m3/h.人结合上述因素，洁净净化系统新风量lx＝***lp＋lz同时满足***lxr的要求。
净化空调系统、水、气净化装置和电气装置是清洁厂房的重要组成部分。它们的面积在洁净厂房建造中占有较---例。这些洁净厂房的规模、设备特点、位置及其配水管网的布置对洁净厂房的空间组合和规模有很大的影响。为了取得---的使用效果和经济性，有---解决它们与生产过程之间的布局关系。
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