其次是局部排风,在靠近污染源处捕集散发的污染物,排风装置不仅要有---的抽吸动力,还一定要有同污染物相适配的抽吸装置。排风,洁净室安装,这种方式需要较大的空气量,对能源的浪费较大,因此只有在上述两种方法无法实施时才予以考虑。排出的气体还需要对---进行处理首先要要确定有害气体的种类、性质(物理性质和化学性质)、数量。
混合设置:在一些项目中,大部分清洁生产区安装的净化空调装置既采用集中净化空调机房,又在特定的局部空间采用分散式净化空调装置,以满足生产工艺的需要。它具有集中和分散的特点,更经济、更灵活,满足了产品生产的要求。
近年来,在---集成电路生产用洁净厂房中常常采用隧道式送风、集中送风和风机过滤单元(ffu)送风方式,各类机房的布置基本采用“混合设置”的方式,即新风处理机集中设置,宁德洁净室,循环空气机组分散设置。
8、主机冷量比末端冷量小15%-30%。9、冷冻机房分、集水缸取消,采用梁下敷设方式,洁净室设备安装,管道采用母管制分合水,阀门采用电动蝶阀,可以减少系统阻力,少占面积,方便操作。
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