集中设置，该类机房在厂区内的位置布置主要针对生产工艺布置的特点和要求，以及供、回风管道的长度。当厂房面积不大、系统简单、管线交叉不多时，可将送回风干管布置在上部技术夹层;当厂房的面积较大、较长，或者系统划分较多时，宜沿厂房长边布置机房，每个系统可以直接与所服务的洁净室对应排列;当采用顶部技术夹层时，送回风干管走向与屋顶承重构件方向相平行，可以究分利用空间。有的洁净室工程，将机房设置在技术夹层的顶部，不仅缩短了风管长度而且节省了用地。
开、竣工文件
1、工程施工应有开工报告、中间验收单、竣工验收检测调整记录和竣工验收单、竣工报告。
2、施工安装工程中应有设备开箱检查记录、土建隐蔽工程记录、管线隐蔽工程系统封闭记录、管道压力试验记录、管道系统清洗（脱脂）记录、风道清洗记录、风道漏风检查记录、设备单机试运转记录、系统联合试运转记录等。
圆弧及圆角处理地面圆弧处理地面采用铝合金双圆弧条方式处理，既可以---地面彩钢板的圆弧过渡，洁净室设备安装，又可以固定彩钢板，---地面垫层平整，间墙两面不渗漏水，采用这种方式，洁净室工程，亦可以---不会生锈。间墙与吊顶间圆弧处理间墙与吊顶间的圆弧过渡，洁净室，为便于安装，中央板与间墙之间的圆弧过渡采用天铆定位，间墙两面插装圆弧条及圆弧角。
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